현장의소리

[스크랩] 공조방식 분류

heatingkim 2011. 12. 13. 15:52

2005/11/06 02:41

http://blog.naver.com/lgm0837/60019162967

출처 : 살아간다는건
수직 층류형 Clean Room (Vertical Laminar Air Flow Clean Room)

  • ▶ 천장전면에 고성능 필터를 붙이고 바닥에는 격자면을 설치하여 전면 흡입하여 청정공기를 수직으로 흐르게하는 방식
  • ▶ 실내 공간에서 발생한 부유 미립자는 그 위치에서 곧 하류로 흘러 내려가 주위에는 영향을 주지 않기 때문에 초청정공간 Class 100의 실현
  • ▶ 취출풍속 : 0.23∼0.5m/sec
  • ▶ (Class : 1∼100)

수평 층류형 Clean Room (Horizontal Laminar Air Flow Clean Room)

  • ▶ 한쪽의 내벽 전면에 고성능 필터를 설치하여 반대쪽의 벽체전면에서 빨아들여 청정공기를 수평으로 흐르게 하는 방식
  • ▶ 상류측의 작업영향으로 하류측에서는 청정도가 저하
  • ▶ 취출풍속 : 0.455m/sec 이상
  • ▶ (Class : 100∼1,000)

비층류형 Clean Room (Turbulent Airflow Clean Room)

  • ▶ 일반 공기조화설비의 취출구에 고성능 필터를 취부한 방식으로 청정한 취출공기에 의해 실내 오염원을 희석하여 청정도를 상승시키는 희석법
  • ▶ (Class : 1,000∼100,000)

Super Clean Room

Super Clean Room에 적용되는 Clean Room 방식은 앞서 설명한 각종 Clean Room 방식 중에서 기본적으로 Vertical Laminar Flow의 형태를 갖추고 있고, 공기의 순환형태 및 온습도 제어의 방식에 따라 몇 가지 System이 적용되고 있습니다. 근래 국내외적으로 가장 많이 채택되고 있는 Super Clean Room의 방식으로는 Open Bay 방식, Fan Filter Unit 방식, Clean Room Tunnel Module 방식 등이 있습니다.

Open Bay 방식

기본적으로는 All Down Flow 방식의 일종으로, 실내에 고청정 지역과 청정도가 떨어지는 지역(Service Area 등)이 섞여있는 경우에 ULPA FILTER, HEPA FILTER 또는 BLIND PANEL을 청정도에 따라 배치함으로써 경제적인 순환 풍량을 확보하고 온습도 유지, Flexibility 등의 관점에서 고성능 천장공간을 유지하는 방식입니다. 순환계통에는 대형 Axial Fan, Cooling Coil, Medium Filter, Sound Attenuator 등이 설치되며, 국내외 대형 반도체 공장에 많이 적용되고 있습니다. 청정도 클라스 1, 10, 100의 Down 방식 클린룸에서는 천장면에 초고성능 필터(ULPA 혹은 HEPA)를 설치하고 Dead Space를 적게 하는 System Ceiling 방식입니다. Mega Bit 시대에 알맞은 안정한 신뢰의 System입니다.
    특징
  • 경년변화가 없어 안정화한 젤리상의 Sealer(Pink Gel) 또는 Silicone Sealant를 사용하여 Air Leak를 최소화함
  • 조명은 대전방지 아크릴 카바를 씌운 Tear Drop 형광등으로 형광등 높이를 낮추어서 난류구역 최소화함
  • Aluminum Frame 은 가늘고 가벼우나 충분한 강도를 지니고 있음
  • 프래임 접속부는 Smart하고 외관이 미려함
  • 프래임 가공은 전체공장에서 실시하므로 현장시공공기가 짧음
  • ULPA, HEPA, 마감판넬의 조립에 의해 Class 1∼1000의 클린룸을 자유롭게 설계
  • 감지기나 스피커는 Al Mould Bar에 직접 취부하므로 천장면의 필터 취부면적을 최대화

Fan Filter Unit 방식

순환계통은 Open Bay 방식과 같이 전체 순환방식으로 경제적인 순환풍량을 확보할 수 있습니다. 각 ULPA 또는 HEPA FILTER에 소형 순환 FAN을 조합한 FAN FILTER UNIT가 다수 천장면에 설치되어 공기를 순환시킴으로써 Open Bay 방식에 비해 순환계의 저항을 줄이고 소요 기계실 면적을 줄일 수 있는 장점을 더 갖고 있으나, Fan의 수량이 증가하여 유지관리의 어려움과 천장내가 (-)압이 되어 청정도가 다소 떨어지는 경향이 있습니다. FFU System은 규격화된 유니트를 천장면에 자유롭게 설치할 수 있는 구조로 되어 있으며 현재 국내외 최고급 슈퍼 클린룸에 적용되고 있습니다. 그 밖에 제조라인의 부분 청정도 유지에도 매우 유용합니다.
    특징
  • 고청정도 유지에 비해 설비비 및 운전비가 저렴
  • 제조장치의 Lay-out 변경에 따른 고유연성
  • 공조기계실의 면적을 작게 하고 건설공기가 대폭 단축
  • 작업을 정지하지 않고 제조장치를 교환가능
  • 향후 확장성이 좋음
  • 각종 청정도 구획을 자유롭게 Lay-out 가능

Clean Tunnel Module

공기 순환계통은 Local 순환방식으로 생산시설의 Lay-out이 Bay 방식으로 되는 경우에 Fan, Filter 및 Cooling Coil에 조화된 Tunnel Module을 설치하여 원하는 청정도 및 온습도를 얻는 방식입니다. 공기순환 동력비가 타 방식에 비해 가장 적은 청정도, 온습도 유지성능이 약간 떨어지고, C.T.M.을 일단 설치하면 이설이 어렵기 때문에 Flexibility의 문제점이 있습니다. 공기순환 방식이 Local 순환이므로 각 Bay에서 사용하는 약품이 인접 Bay에도 영향을 미치기 때문에 Cross-Contamination의 문제가 있습니다. 터널클린룸시스템은 전체면 Down Flow Clean Room과 비교하여 설비비, 운전비 모두 줄일 수 있습니다. 또 초고청정도를 유지할 수 있고 ±0.1℃의 초정밀온도 Control도 가능합니다.

Filtration Efficiency  0.12㎛ Dop, @99.9995%
 0.3㎛ Dop, @99.97%
Filter  Non-Woven Fabric - 부직포 Filter
 Main Filter - ULPA Filter
Cleanliness Level  Class 10∼100
Air Velocity  0.2m/s∼0.5m/s
Illumination  500Lux
Noise  less than 67dB(A)
Install Method  자립방식 또는 천장에 매다는 방식
Floor  Al or Steel
Panel  Sandwich Panel
Fan  Sirocco Fan
Power  3Φ×380/200V×60Hz
    특징
  • 각각의 시스템은 Unit화 되어 있고, 조합이 자유롭게 선택되고, 조립·증설이 용이
  • Filter는 0.1㎛용, 0.3㎛용 모두 사용가능
  • 기류조정은 Shutter 부착 Access Floor를 설치하여 제조장치를 설치한 후에도 조정이 용이
  • 자립방식은 어떤 모양의 장소에도

출처 : 건축설비 SHOP-DWG
글쓴이 : 전정섭 원글보기
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